| 发明名称 |
METHOD OF DETECTING UNIFORMITY OF CROSSSSECTIONAL INTENSITY OF ELECTRON RAYS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS54148997(A) |
申请公布日期 |
1979.11.21 |
| 申请号 |
JP19780026864 |
申请日期 |
1978.03.09 |
| 申请人 |
NIPPON ELECTRON OPTICS LAB |
发明人 |
ISOBE MORIYUKI |
| 分类号 |
H01J37/04;G01T1/29;G21K1/08;G21K5/02 |
主分类号 |
H01J37/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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