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发明名称
Verfahren zum Herstellen eines Kontaktes/VIA.
摘要
申请公布号
DE68920025(D1)
申请公布日期
1995.01.26
申请号
DE19896020025
申请日期
1989.03.24
申请人
SGS-THOMSON MICROELECTRONICS, INC. (N.D.GES.DES STAATES DELAWARE), CARROLLTON, TEX., US
发明人
LIOU, FU-TAI, F-75116 PARIS, FR;MILLER, ROBERT OTIS, F-75116 PARIS, FR;FARAHANI, MOHAMMED M., F-75116 PARIS, FR;HAN, YU-PIN, F-75116 PARIS, FR
分类号
H01L21/3205;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/60;H01L21/90;H01L21/321
主分类号
H01L21/3205
代理机构
代理人
主权项
地址
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