| 发明名称 |
Apparatus and crucible for vapor phase deposition. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0490727(B1) |
申请公布日期 |
1995.01.25 |
| 申请号 |
EP19910403232 |
申请日期 |
1991.11.29 |
| 申请人 |
SOCIETE EUROPEENNE DE PROPULSION |
发明人 |
VALENTIAN, DOMINIQUE |
| 分类号 |
C23C14/24;C23C14/52;C30B23/02;C30B30/08;(IPC1-7):C23C14/24 |
主分类号 |
C23C14/24 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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