| 发明名称 |
APPAREIL DE TRAITEMENT D'UN ECHANTILLON TOURNANT DANS UNE ENCEINTE A VIDE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
FR2625920(B1) |
申请公布日期 |
1994.03.04 |
| 申请号 |
FR19880016306 |
申请日期 |
1988.12.12 |
| 申请人 |
VG INSTRUMENTS GROUP LTD |
发明人 |
NIGEL WILLIAM BEARD;ROBERT BERNARD PHILLIPS;PAUL RICHARD STONESTREET |
| 分类号 |
C23C14/50;C30B23/02;C30B35/00;H01L21/00;(IPC1-7):B01L1/00;G01N1/28 |
主分类号 |
C23C14/50 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
