| 发明名称 |
Apparatus for and a method of transverse position measurement in proximity lithographic systems |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2249387(B) |
申请公布日期 |
1995.01.25 |
| 申请号 |
GB19900022154 |
申请日期 |
1990.10.11 |
| 申请人 |
* HOLTRONIC TECHNOLOGIES LIMITED |
发明人 |
FRANCIS STACE MURRAY * CLUBE |
| 分类号 |
G03F1/08;G03F9/00;G03H1/00;H01L21/027;(IPC1-7):G03F9/00 |
主分类号 |
G03F1/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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