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发明名称 TEST WAFER FOR SEMICONDUCTOR MANUFACTURING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0685029(A) 申请公布日期 1994.03.25
申请号 JP19920233234 申请日期 1992.09.01
申请人 NEC KYUSHU LTD 发明人 TAWARA AKEMI
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/316;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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