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发明名称 SEMICONDUCTOR SUBSTRATE CHEMICAL TREATMENT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0684871(A) 申请公布日期 1994.03.25
申请号 JP19920234468 申请日期 1992.09.02
申请人 NEC KYUSHU LTD 发明人 MASUKAWA HIROYUKI
分类号 B08B3/14;H01L21/304;H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 B08B3/14
代理机构 代理人
主权项
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