发明名称
摘要
申请公布号 JPH072615(Y2) 申请公布日期 1995.01.25
申请号 JP19900003642U 申请日期 1990.01.18
申请人 发明人
分类号 C30B11/00;E05B25/06;H01L21/208;(IPC1-7):C30B11/00 主分类号 C30B11/00
代理机构 代理人
主权项
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