发明名称 Method of producing a strip-buried semiconductor laser using dry etching to form this strip and a laser obtained by this method.
摘要
申请公布号 EP0501862(B1) 申请公布日期 1995.01.25
申请号 EP19920400465 申请日期 1992.02.24
申请人 FRANCE TELECOM 发明人 BOUADMA, NOUREDINE
分类号 H01L21/302;H01L21/306;H01L21/3065;H01L33/00;H01S5/00;H01S5/042;H01S5/227;(IPC1-7):H01S3/19 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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