| 发明名称 |
FILM-THICKNESS MEASURING DEVICE AND THIN-FILM FORMING DEVICE USING FILM-THICKNESS MEASURING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0722482(A) |
申请公布日期 |
1995.01.24 |
| 申请号 |
JP19930163722 |
申请日期 |
1993.07.02 |
| 申请人 |
HITACHI LTD;HITACHI TOKYO ELECTRON CO LTD |
发明人 |
IKUBO NARUHIRO;KONDO TAIICHI |
| 分类号 |
H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 |
主分类号 |
H01L21/66 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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