发明名称 INTEGRATED ELEMENT AND WIRING-LAYER FORMING METHOD IN INTEGRATED ELEMENT
摘要
申请公布号 JPH0722413(A) 申请公布日期 1995.01.24
申请号 JP19930152296 申请日期 1993.06.23
申请人 NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> 发明人 MURAMOTO YOSHIFUMI;KATO KAZUTOSHI
分类号 H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/320 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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