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发明名称 LOW PRESSURE CVD DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0722319(A) 申请公布日期 1995.01.24
申请号 JP19930161838 申请日期 1993.06.30
申请人 KAWASAKI STEEL CORP 发明人 ONODERA KIYOSHI
分类号 H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
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