发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURING METHOD THEREOF
摘要
申请公布号 JPH0722313(A) 申请公布日期 1995.01.24
申请号 JP19930189082 申请日期 1993.06.30
申请人 RICOH CO LTD;RICOH RES INST OF GEN ELECTRON 发明人 MIURA HIROSHI
分类号 H01L21/20;H01L21/02;H01L21/203;H01L21/268;H01L27/00;H01L27/12;(IPC1-7):H01L21/20 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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