发明名称 METHOD FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR FILM
摘要
申请公布号 JPH0722315(A) 申请公布日期 1995.01.24
申请号 JP19910068935 申请日期 1991.03.08
申请人 RICOH CO LTD 发明人 DOI KONEN;KONISHI JUNICHI;KUMIKAWA MASAKAZU
分类号 H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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