| 发明名称 |
PROBE UNIT AND INFORMATION PROCESSOR USING THE SAME |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH0721598(A) |
申请公布日期 |
1995.01.24 |
| 申请号 |
JP19930188683 |
申请日期 |
1993.07.02 |
| 申请人 |
CANON INC |
发明人 |
SHIMADA YASUHIRO;SUZUKI YOSHIO;WATANABE NOBUO;TAKAMATSU OSAMU;NAKAYAMA MASARU |
| 分类号 |
G01Q70/10;G01Q80/00;G11B9/00;G11B9/14;H01J37/28;H01L21/66;(IPC1-7):G11B9/00 |
主分类号 |
G01Q70/10 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
