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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0722618(A) 申请公布日期 1995.01.24
申请号 JP19930152330 申请日期 1993.06.23
申请人 KAWASAKI STEEL CORP 发明人 MORII HIROYUKI
分类号 H01L21/265;H01L21/28;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/78 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
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