发明名称 METHOD FOR JUDGING CONFORMANCE AND NON-CONFORMANCE OF DELAY IN SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH0720203(A) 申请公布日期 1995.01.24
申请号 JP19930150821 申请日期 1993.06.22
申请人 KAWASAKI STEEL CORP 发明人 TAKENOBU SEIJI
分类号 G01R31/28;H01L21/82;H01L21/822;H01L27/04;(IPC1-7):G01R31/28 主分类号 G01R31/28
代理机构 代理人
主权项
地址