| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE, AND SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0722510(A) |
申请公布日期 |
1995.01.24 |
| 申请号 |
JP19930163033 |
申请日期 |
1993.07.01 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
AKIMOTO KAZUYASU;UCHIDA AKIHISA;ANZAI AKIO |
| 分类号 |
H01L21/82;H01L21/822;H01L27/04;(IPC1-7):H01L21/82 |
主分类号 |
H01L21/82 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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