发明名称 PLASMA PRODUCER
摘要
申请公布号 JPH0722322(A) 申请公布日期 1995.01.24
申请号 JP19930187097 申请日期 1993.06.30
申请人 KOKUSAI ELECTRIC CO LTD 发明人 TOYODA KAZUYUKI
分类号 H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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