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发明名称 CHARGED PARTICLE BEAM RADIATING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0721959(A) 申请公布日期 1995.01.24
申请号 JP19930157311 申请日期 1993.06.28
申请人 NISSIN ELECTRIC CO LTD 发明人 IWAZAWA YASUSHI
分类号 C23C14/48;H01J37/04;H01J37/20;H01J37/244;H01J37/317;H01L21/20;H01L21/265;(IPC1-7):H01J37/20 主分类号 C23C14/48
代理机构 代理人
主权项
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