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发明名称 SIMULATION METHOD
摘要
申请公布号 JPH0722604(A) 申请公布日期 1995.01.24
申请号 JP19930152553 申请日期 1993.06.24
申请人 NEC CORP 发明人 TAMEGAYA YUKIO
分类号 H01L29/00;G06F17/50;H01L21/00;(IPC1-7):H01L29/00 主分类号 H01L29/00
代理机构 代理人
主权项
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