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发明名称
SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号
JPH0722509(A)
申请公布日期
1995.01.24
申请号
JP19930152327
申请日期
1993.06.23
申请人
KAWASAKI STEEL CORP
发明人
FUJIMAKI YUTAKA
分类号
H01L21/66;H01L21/82;(IPC1-7):H01L21/82
主分类号
H01L21/66
代理机构
代理人
主权项
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