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经营范围
发明名称
MANUFACTURING EQUIPMENT OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPH0722400(A)
申请公布日期
1995.01.24
申请号
JP19930164930
申请日期
1993.07.05
申请人
NEC YAMAGATA LTD
发明人
TANAKAI YASUHARU
分类号
H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306
主分类号
H01L21/302
代理机构
代理人
主权项
地址
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