发明名称 MANUFACTURING EQUIPMENT OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0722400(A) 申请公布日期 1995.01.24
申请号 JP19930164930 申请日期 1993.07.05
申请人 NEC YAMAGATA LTD 发明人 TANAKAI YASUHARU
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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