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发明名称 CHARGED BEAM LITHOGRAPHY DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0722349(A) 申请公布日期 1995.01.24
申请号 JP19930162917 申请日期 1993.06.30
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 HATTORI SEIJI
分类号 H01L21/30;(IPC1-7):H01L21/30 主分类号 H01L21/30
代理机构 代理人
主权项
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