发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0720198(A) 申请公布日期 1995.01.24
申请号 JP19930167647 申请日期 1993.07.07
申请人 HITACHI LTD 发明人 IKEGAYA KATSUMI;SONOBE YASUO
分类号 G01R31/26;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/26 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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