| 发明名称 |
THIN FILM FORMING DEVICE AND PRODUCTION OF METAL OXIDE SEMICONDUCTOR THIN FILM USING THE DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0718425(A) |
申请公布日期 |
1995.01.20 |
| 申请号 |
JP19930187317 |
申请日期 |
1993.06.30 |
| 申请人 |
RICOH CO LTD |
发明人 |
SATO YASUHIRO;MIYABORI TORU;OTA WASABURO;ISHIDA TSUTOMU;FUJISAWA ETSUKO |
| 分类号 |
C23C14/32;G01N27/12;(IPC1-7):C23C14/32 |
主分类号 |
C23C14/32 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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