发明名称 RESIST FOR PATTERNING
摘要
申请公布号 KR950000482(B1) 申请公布日期 1995.01.20
申请号 KR19920007521 申请日期 1992.04.30
申请人 TOSHIBA CO., LTD. 发明人 HAYASE, RUMIKO;ONISHI, YASUNOBU;NIKI, HIROKAZU;OYASATO, NAOHIKO;KOBAYASHI, YOSHIHITO;HAYASE, SHUJI
分类号 G03F7/023;G03F7/039;(IPC1-7):G03F7/023;G03F7/004;H01L21/027 主分类号 G03F7/023
代理机构 代理人
主权项
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