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经营范围
发明名称
RESIST FOR PATTERNING
摘要
申请公布号
KR950000482(B1)
申请公布日期
1995.01.20
申请号
KR19920007521
申请日期
1992.04.30
申请人
TOSHIBA CO., LTD.
发明人
HAYASE, RUMIKO;ONISHI, YASUNOBU;NIKI, HIROKAZU;OYASATO, NAOHIKO;KOBAYASHI, YOSHIHITO;HAYASE, SHUJI
分类号
G03F7/023;G03F7/039;(IPC1-7):G03F7/023;G03F7/004;H01L21/027
主分类号
G03F7/023
代理机构
代理人
主权项
地址
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