摘要 |
<P>Le dispositif de mesure ou de régulation de débit de gaz comprend un circuit (1) muni d'une sortie aval (4). Le circuit (1) comporte une dérivation d'expérience (6) comportant au moins une cellule d'expérience (10), une dérivation de référence (8) comportant au moins une cellule de référence (12), un capteur de pression différentiel (14) disposé de manière à communiquer avec lesdites dérivations (6, 8) en amont desdites cellules d'expérience (10) et de référence (12), et deux abaisseurs de pression (16, 18) de conductances sensiblement égales si le circuit est symétrique en volumes, disposés respectivement sur chacune desdites dérivations (6, 8) en aval desdites cellules d'expérience (10) et de référence (12). <BR/> Application à la mesure de très faibles débits de gaz corrosifs.</P>
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