| 发明名称 |
FORMATION OF THIN FILM BY BIAS SPUTTERING |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0718431(A) |
申请公布日期 |
1995.01.20 |
| 申请号 |
JP19930168052 |
申请日期 |
1993.07.07 |
| 申请人 |
ANELVA CORP |
发明人 |
MIYOSHI AYUMI;MIZUFUNE YOICHIRO |
| 分类号 |
C23C14/34;C23C14/40;G11B5/31;(IPC1-7):C23C14/34 |
主分类号 |
C23C14/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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