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发明名称 Verfahren zu Herstellung eines Halbleiterbauelements mit Stufenübegang
摘要
申请公布号 DE69027630(T2) 申请公布日期 1997.02.13
申请号 DE1990627630T 申请日期 1990.05.25
申请人 HARRIS CORP., MELBOURNE, FLA., US 发明人 ARTHUR, STEPHEN DALEY, SCOTIA, NEW YORK 12302, US;TEMPLE, VICTOR ALBERT KEITH, JONESVILLE, NEW YORK 12065, US
分类号 H01L29/73;H01L21/033;H01L21/225;H01L21/266;H01L21/331;H01L29/06;H01L29/36;H01L29/74;(IPC1-7):H01L29/36 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
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