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发明名称 HIGH-FREQUENCY CAPACITIVE PLASMA GENERATOR
摘要
申请公布号 RU2027324(C1) 申请公布日期 1995.01.20
申请号 RU19930010304 申请日期 1993.02.26
申请人 VSEROSSIJSKIJ NAUCHNO-ISSLEDOVATELSKIJ PROEKTNO-KONSTRUKTORSKIJ I TEKHNOLOGICHESKIJ INSTITUT TOKOV VYSOKOJ CHASTOTY IM.V.P.VOLOGDINA 发明人 DMITRIEV ANDREJ V;BELOV GENNADIJ G;PODYMOV ANATOLIJ N
分类号 H05B7/18;H05H1/03;H05H1/18;(IPC1-7):H05B7/18 主分类号 H05B7/18
代理机构 代理人
主权项
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