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发明名称 Ultradünne mehrlagige Oxidbeschichtung.
摘要
申请公布号 DE3852321(D1) 申请公布日期 1995.01.19
申请号 DE19883852321 申请日期 1988.01.19
申请人 VALENITE INC., WILMINGTON, DEL., US 发明人 SARIN, VINOD K., LEXINGTON, MA 02173, US;HINTERMANN, HANS ERICH, CH-3232 INS, CH;GINDRAUX, GILBERT, CH-2000 NEUCHATEL, CH
分类号 C23C16/30;B23P15/28;C04B41/87;C23C16/40;C23C16/44;(IPC1-7):C23C16/30;B23B27/14;C04B41/50;C23C16/02;C23C28/04 主分类号 C23C16/30
代理机构 代理人
主权项
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