| 发明名称 |
CHARGE DETECTOR FOR SEMICONDUCTOR SUBSTRATES |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
KR950000430(B1) |
申请公布日期 |
1995.01.19 |
| 申请号 |
KR19900020999 |
申请日期 |
1990.12.19 |
| 申请人 |
TOKYO CATHODE LABORATORY CO., LTD. |
发明人 |
YASAKA, MITSUO |
| 分类号 |
H01J37/244;H01J37/317;(IPC1-7):H01J37/317 |
主分类号 |
H01J37/244 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
