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发明名称 Vorrichtung zum Erhitzen einer Zone unter Verwendung einer Mikrowellen-Plasmaentladungslampe.
摘要
申请公布号 DE69105660(D1) 申请公布日期 1995.01.19
申请号 DE19916005660 申请日期 1991.07.15
申请人 MITSUBISHI DENKI K.K., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 ABE, TOSHIO, C/O KAMAKURA SEISAKUSHO, KAMAKURA-SHI, KANAGAWA-KEN, JP
分类号 C30B13/24;H01J65/04;(IPC1-7):C30B13/24 主分类号 C30B13/24
代理机构 代理人
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