Strahlungsempfindliche Lackzusammensetzung,申请号DE19934323289-传众专利搜索

发明名称	Strahlungsempfindliche Lackzusammensetzung
摘要
申请公布号	DE4323289(A1)	申请公布日期	1995.01.19
申请号	DE19934323289	申请日期	1993.07.12
申请人	SIEMENS AG, 80333 MUENCHEN, DE	发明人	SEBALD, MICHAEL, DIPL.-CHEM. DR., 91093 HESDORF, DE;BIRKLE, SIEGFRIED, DIPL.-CHEM. DR., 91315 HOECHSTADT, DE;PREISNER, KARIN, DIPL.-CHEM., 91207 LAUF, DE;BESTMANN, HANS-JUERGEN, PROF. DR., 91056 ERLANGEN, DE
分类号	C09D135/06;G03F7/004;G03F7/039;G03F7/38;(IPC1-7):C09D7/12;C09D135/00;C30B33/00;H01L21/312;G03F7/40	主分类号	C09D135/06
代理机构		代理人
主权项
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