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发明名称 Halbleiterscheibe.
摘要
申请公布号 DE69105530(D1) 申请公布日期 1995.01.19
申请号 DE19916005530 申请日期 1991.01.16
申请人 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA, KAWASAKI, KANAGAWA, JP;TOSHIBA MICRO-ELECTRONICS CORP., KAWASAKI, JP 发明人 SAKUMOTO, AIICHIRO, C/O INTELLECTUAL PROPERTYDIV., MINATO-KU, TOKYO 105, JP;KAWAKAMI, MICHIHIRO, C/O INTELLECTUAL PROP. DIV., MINATO-KU, TOKYO 105, JP
分类号 H01L21/78;G01R31/26;G01R31/28;H01L21/66;H01L23/58;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 H01L21/78
代理机构 代理人
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