发明名称 Large area microwave plasma apparatus.
摘要
申请公布号 EP0335675(B1) 申请公布日期 1995.01.18
申请号 EP19890303083 申请日期 1989.03.29
申请人 CANON KABUSHIKI KAISHA;ENERGY CONVERSION DEVICES, INC. 发明人 DOEHLER, JOACHIM;KRISKO, JEFFREY M.
分类号 C23C16/50;C23C16/511;C23F4/00;H01J37/32;H05H1/46;(IPC1-7):H01J37/32 主分类号 C23C16/50
代理机构 代理人
主权项
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