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发明名称 Apparatus for cleaning an optical element for use with a radiation beam.
摘要
申请公布号 EP0421745(B1) 申请公布日期 1995.01.18
申请号 EP19900310797 申请日期 1990.10.03
申请人 CANON KABUSHIKI KAISHA 发明人 IIZUKA, TAKASHI, C/O CANON KABUSHIKI KAISHA;FUKUDA, YASUAKI, C/O CANON KABUSHIKI KAISHA;HAYASHIDA, MASAMI, C/O CANON KABUSHIKI KAISHA;NIIBE, MASAHITO, C/O CANON KABUSHIKI KAISHA
分类号 B08B7/00;C23F4/00;G02B27/00;G03F7/20;H05H13/04;(IPC1-7):G02B23/00 主分类号 B08B7/00
代理机构 代理人
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