发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR TEST OF SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPH1090352(A) 申请公布日期 1998.04.10
申请号 JP19960250064 申请日期 1996.09.20
申请人 NEC CORP 发明人 YAMAKITA NAOYA
分类号 G01R31/26;G01R31/28;G06F11/22;(IPC1-7):G01R31/26 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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