发明名称 Method of forming an isolation region
摘要
申请公布号 GB2247106(B) 申请公布日期 1995.01.18
申请号 GB19900025253 申请日期 1990.11.20
申请人 * SAMSUNG ELECTRONICS CO LIMITED 发明人 OH-HYUN * KWON;DONG JOO * BAE
分类号 H01L29/78;H01L21/316;H01L21/336;H01L21/76;H01L21/762;H01L21/763;(IPC1-7):H01L21/76 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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