| 发明名称 |
METHOD AND DEVICE FOR WIRING MULTI-LAYER CHANNEL |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0713976(A) |
申请公布日期 |
1995.01.17 |
| 申请号 |
JP19930144642 |
申请日期 |
1993.06.16 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
TOYONAGA MASAHIKO;SAWADA YOSHIAKI |
| 分类号 |
H01L21/82;G06F17/50;H01L21/822;H01L27/04;(IPC1-7):G06F17/50 |
主分类号 |
H01L21/82 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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