| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURING DEVICE THEREOF |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH0714839(A) |
申请公布日期 |
1995.01.17 |
| 申请号 |
JP19930147327 |
申请日期 |
1993.06.18 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
FUJII MINORU;NISHIO MIKIO |
| 分类号 |
H01L21/30;H01L21/3205;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/320 |
主分类号 |
H01L21/30 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
