发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE AND WIRING
摘要
申请公布号 JPH0714834(A) 申请公布日期 1995.01.17
申请号 JP19930145879 申请日期 1993.06.17
申请人 HITACHI LTD 发明人 OKAWA AKIRA;FUJII YUJI
分类号 H01L21/28;H01L21/3205;H01L29/43;(IPC1-7):H01L21/320 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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