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经营范围
发明名称
CVD EQUIPMENT
摘要
申请公布号
JPH0714789(A)
申请公布日期
1995.01.17
申请号
JP19930179807
申请日期
1993.06.25
申请人
SONY CORP
发明人
TSUCHIYA SHINJI
分类号
C23C16/52;H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205
主分类号
C23C16/52
代理机构
代理人
主权项
地址
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