发明名称 FABRICATION OF SEMICONDUCTOR WAFER
摘要
申请公布号 JPH0714754(A) 申请公布日期 1995.01.17
申请号 JP19930150726 申请日期 1993.06.22
申请人 HITACHI LTD 发明人 NAGANUMA TAKASHI;AOSHIMA TAKAAKI
分类号 H01L21/02;(IPC1-7):H01L21/02 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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