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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH0714801(A) 申请公布日期 1995.01.17
申请号 JP19930145878 申请日期 1993.06.17
申请人 HITACHI LTD 发明人 OKAWA AKIRA
分类号 H01L21/28;H01L21/3205;(IPC1-7):H01L21/28;H01L21/320;H01L29/784 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
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