发明名称 SUPERCONDUCTING MULTILAYERED THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH0715049(A) 申请公布日期 1995.01.17
申请号 JP19930152040 申请日期 1993.06.23
申请人 NEC CORP 发明人 SATO TETSURO;FUJITA JUNICHI;YOSHITAKE TSUTOMU
分类号 C23C14/08;H01L39/02;H01L39/22;(IPC1-7):H01L39/22 主分类号 C23C14/08
代理机构 代理人
主权项
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