发明名称 |
SUPERCONDUCTING MULTILAYERED THIN FILM |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH0715049(A) |
申请公布日期 |
1995.01.17 |
申请号 |
JP19930152040 |
申请日期 |
1993.06.23 |
申请人 |
NEC CORP |
发明人 |
SATO TETSURO;FUJITA JUNICHI;YOSHITAKE TSUTOMU |
分类号 |
C23C14/08;H01L39/02;H01L39/22;(IPC1-7):H01L39/22 |
主分类号 |
C23C14/08 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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