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发明名称
SUBSTRATE
摘要
申请公布号
JPH0714819(A)
申请公布日期
1995.01.17
申请号
JP19930151799
申请日期
1993.06.23
申请人
NEC CORP
发明人
SAEKI KAZUO
分类号
F26B15/12;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304
主分类号
F26B15/12
代理机构
代理人
主权项
地址
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