发明名称 ANALYTIC ELECTRON MICROSCOPE
摘要
申请公布号 JPH0714538(A) 申请公布日期 1995.01.17
申请号 JP19930154754 申请日期 1993.06.25
申请人 TOPCON CORP 发明人 YANAKA TAKASHI
分类号 H01J37/141;H01J37/244;H01J37/252;H01J37/26;(IPC1-7):H01J37/244 主分类号 H01J37/141
代理机构 代理人
主权项
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