发明名称 METHOD OF INSPECTING OUTER SURFACE OF DISC COVERED WITH THIN FILM AND DEVICE THEREFOR
摘要
申请公布号 JPH0712747(A) 申请公布日期 1995.01.17
申请号 JP19930154921 申请日期 1993.06.25
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 NISHIKAWA MASAMITSU
分类号 G01B11/30;G01N21/88;G01N21/93;G01N21/956;G11B5/84;G11B7/26;(IPC1-7):G01N21/88 主分类号 G01B11/30
代理机构 代理人
主权项
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